電容式接近傳感器基本結(jié)構(gòu)形式
電容式傳感器可分為三種基本類型:可變距離(間隙)、可變區(qū)和可變介電常數(shù)型稱重傳感器。
電容式傳感器的三種基本結(jié)構(gòu)形式。它們可以以位移形式分為直線位移和角位移兩個(gè),并根據(jù)傳感器板的形狀對(duì)平面和圓形或圓柱狀的圓柱形狀,雖然和球面和鋸齒形等形狀,但很少使用,所以表中沒有列出。差分傳感器一般比單組(單)傳感器。具有較高的靈敏度,線性范圍寬,穩(wěn)定性高。
1.變面積(s)型電容式傳感器
變四積型電容式傳感器中.平板形結(jié)構(gòu)對(duì)圾距變化特別敏感,測(cè)量精度受到影響,而圓柱形結(jié)構(gòu)受權(quán)板徑向變化的影響很小v成為實(shí)際應(yīng)用中適合常來只結(jié)構(gòu).其干線位移單組式的電容量在忽略邊緣效應(yīng)時(shí)為電容傳感器的電容變化與線位移成正比。
2.變介電常數(shù)(e)型電容式傳感器
變介電常數(shù)(c)型電容式傳感器大多用來測(cè)量電介質(zhì)的厚度、液位、還可根據(jù)極間介質(zhì)
的介電常數(shù)隨溫度、濕度改變而改變來測(cè)量介質(zhì)材料的溫度、濕度等。若忽略邊緣故應(yīng),表5—l中單組式平板形線位移傳感器的電容量與介質(zhì)線位移的關(guān)系為固定極板的長度和寬度及被測(cè)物進(jìn)入兩極板間的長度。
由此可見,電容量與線位移呈線性關(guān)系。
厚度傳感器中的電容量與厚度的關(guān)系為式中的符號(hào)含義與式相同。由此可見,電容量與厚度之間呈非線性關(guān)系。
應(yīng)該注意的是,如果電極之間的被測(cè)介質(zhì)導(dǎo)電時(shí),在電極表面應(yīng)涂覆絕緣層,以防止電極間短路。
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